摘要
本公开涉及半导体技术领域,提供一种芯片测试设备及其控制方法,用于解决测试插座的清洁效率低和机台等待时间长的技术问题。芯片测试设备包括:分拣装置,包括用于容纳第一载盘的第一腔室,第一载盘上设置有清洁颗粒;测试装置,包括第二腔室和测试插座,第二腔室用于容纳第二载盘,测试装置用于通过测试插座与位于第二载盘上的待测的芯片电气连接并对待测的芯片执行测试操作;传输部件,用于传输第一载盘;控制部,用于在测试插座达到预设清洁条件时,控制传输部件将第一载盘从第一腔室移动至测试插座所在的第二腔室并控制第一载盘对测试插座执行清洁操作。如此,可以有效提高测试插座的清洁效率,同时缩短机台等待时间并提升机台产能。
技术关键词
芯片测试设备
隔离门
腔室
载盘
夹爪部件
分拣装置
凸轮机构
升降气缸
排布方式
压头
机械手
加热部件
电气
机台
滑块
提升机
弹簧
产能