一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统

本发明公开了一种基于石英晶体切割异常的监测方法及系统，涉及异常监测技术领域，包括：通过高速工业相机与激光扫描光谱仪协同，捕获切割过程中每个切面的表面图像与反射光谱；对所述表面图像与所述反射光谱，进行预处理后进行空间配准；将空间配准后的图像与表面的切割路径进行特征融合，得到清晰的输入数据流；对每个切面对应的数据流，进行金字塔重建；将重构后的切面数据流，进行固有参数的简化，对简化后的切面数据流进行分析，得到石英晶体切面异常的检测结果。能够显著提升石英晶体切割过程中异常检测的自动化与智能化水平，突破了传统方法对微小缺陷、低对比度异常识别能力弱的技术瓶颈。