一种基于偏置交流磁化调制TMR传感器的缺陷检测系统

本发明公开了一种基于偏置交流磁化调制TMR传感器的缺陷检测系统，通过交直流磁化模块、TMR传感器、缺陷预测模块的配合设置，交直流磁化模块用于模拟交直流叠加磁场测试环境，形成反向交直流磁饱和磁场，TMR传感器获取待测工件的缺陷信号特征，并将获取的待测工件的缺陷信号特征发送给缺陷预测模块，缺陷预测模块通过分析交流波形的峰值（微米级窄缺陷）、波形宽度（毫米级缺陷），实现20微米至毫米级缺陷的全尺度检测，实现了同一传感器高灵敏度与宽量程的平衡，同时满足了实际检测中对精度和效率的双重需求。同时，本申请通过交直流磁场协同调制：将量程TMR传感器扩展至300 Gs，覆盖从微弱漏磁到强漏磁的全范围。