面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统

本发明提供面向晶圆级测试的多探针协同接触控制与调节方法及系统，涉及晶圆级测试技术领域，包括通过获取探针初始和目标位置信息生成轨迹规划方案，采用多维度传感器阵列采集探针数据并建立评估模型，构建优化目标函数，采用分层递进式预测控制算法优化轨迹获得子群控制参数，实现探针精确定位，并依据评估指标触发参数优化循环。本发明有效提高了多探针协同运动精度与接触可靠性。