一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法

一种大口径高陡度非球面石英玻璃超光滑抛光方法，包括以下步骤：1）根据待加工非球面元件方程给出加工程序文件；2）确定抛光路径、抛光时间、抛光负载等参数；3）机械作用为主的粗抛和精抛加工；4）以化学机械作用为主要特征，去除亚表面损伤层的超光滑预抛光工艺；5）去除表面原子级材料的超光滑加工工艺。本发明提出的抛光方法同时解决了抛光元件材料表面低频面形精度确定性控制、表面缺陷控制以及超光滑加工关键技术问题，特别是，不受元件尺寸和非球面度影响，通用性强，稳定性高；全流程仅使用机器人抛光设备，具有成本低，效率高的优点。