摘要
本发明公开了一种基于SiC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统,涉及环境监测技术领域,其中,该系统包括碳化硅光纤压力传感单元、耐高温光信号传输单元、信号处理与分析单元、数据显示与存储单元、温度补偿单元。本发明所述的一种基于S iC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统,采用全碳化硅材料构建传感单元,蓝宝石光纤及碳化硅涂层传输光信号,能够在高温高压水环境中长期稳定工作,克服了传统传感器在高温高压环境下性能下降的问题;通过超声辅助微加工工艺制作敏感膜片、特殊键合工艺制造真空法珀腔,提升了传感单元的灵敏度;智能分析模块运用机器学习算法,结合温度补偿单元的实时修正,有效提高了压力测量的准确性。
技术关键词
高温高压水环境
光纤法珀
实时监测系统
光纤压力传感
温度补偿单元
智能分析模块
碳化硅基底
蓝宝石光纤
机器学习算法
分析单元
信号处理
压力传感单元
传输单元
光信号
存储单元
多层封装结构
数学拟合方法