一种基于SiC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统

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一种基于SiC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统
申请号:CN202510910406
申请日期:2025-07-02
公开号:CN120593930A
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于SiC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统,涉及环境监测技术领域,其中,该系统包括碳化硅光纤压力传感单元、耐高温光信号传输单元、信号处理与分析单元、数据显示与存储单元、温度补偿单元。本发明所述的一种基于S iC光纤法珀传感的高温高压水环境实时监测系统,采用全碳化硅材料构建传感单元,蓝宝石光纤及碳化硅涂层传输光信号,能够在高温高压水环境中长期稳定工作,克服了传统传感器在高温高压环境下性能下降的问题;通过超声辅助微加工工艺制作敏感膜片、特殊键合工艺制造真空法珀腔,提升了传感单元的灵敏度;智能分析模块运用机器学习算法,结合温度补偿单元的实时修正,有效提高了压力测量的准确性。
技术关键词
高温高压水环境 光纤法珀 实时监测系统 光纤压力传感 温度补偿单元 智能分析模块 碳化硅基底 蓝宝石光纤 机器学习算法 分析单元 信号处理 压力传感单元 传输单元 光信号 存储单元 多层封装结构 数学拟合方法
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沪ICP备2023015588号