摘要
本发明涉及CDS供液柜技术领域,且公开了一种CDS供液柜,包括柜体结构、供液系统组件、安全与监测系统组件以及人机交互界面控制系统,所述柜体结构包括有多个分隔舱,各舱间设有密封隔板,所述柜体结构采用全封闭结构,且由PP聚丙烯、PVDF聚偏氟乙烯或PFA四氟乙烯‑全氟烷基乙烯基醚共聚物耐酸碱腐蚀的材料制成。本发明通过柜体采用全封闭结构及耐酸碱腐蚀的PP/PVDF/PFA材质,通过密封隔板分隔多舱室,彻底阻断化学品挥发与泄漏风险,避免腐蚀性气体扩散至车间环境,保护操作人员健康及生态安全,抽风系统内置抽风机与活性炭过滤层,实时吸附并过滤挥发的腐蚀性气体(如HCl、HF等),经排风管道排出达标气体,实现有害气体“零排放”,降低企业环保合规风险。
技术关键词
柜体结构
全氟烷基乙烯基醚共聚物
人机交互界面
供液系统
PLC可编程逻辑控制器
抽风系统
辊子系统
排风管道
活性炭过滤层
监控设备运行状态
精准调节流量
监测系统
流量调节阀
耐酸碱
控制系统
气体探测器
PLC系统
温湿度传感器
透明观察窗
聚偏氟乙烯