视觉大模型辅助的统一多任务计算光刻建模与缺陷检测方法

本发明公开了视觉大模型辅助的统一多任务计算光刻建模与缺陷检测方法，不仅具备高精度的建模能力与缺陷识别性能，同时显著降低模型部署成本，具备高度自动化、统一建模与工程可扩展性等优势。包括以下步骤：构建图像生成与缺陷检测双任务数据集；基于统一的Transformer架构，构建融合工艺条件的两阶段图像生成模型，实现由layout图像生成mask与contour图像；针对layout、mask与contour三类图像，构建基于DETR的缺陷检测模型，进行DRC、MRC、LRC检测；构建端到端光刻大模型框架，支持输入layout后同时输出mask、contour及DRC/MRC/LRC检测结果。