一种芯片基板用铜箔表面防氧化处理工艺、专用电解液及其应用

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一种芯片基板用铜箔表面防氧化处理工艺、专用电解液及其应用
申请号:CN202510913217
申请日期:2025-07-03
公开号:CN120666412A
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种蕊片基板用铜箔表面防氧化处理工艺,包括以下步骤:将铜箔作为阴极置于电解液中,在直流电场作用下进行电沉积;所述电解液包含硫酸锌、硫酸镍、羟甲基磺酸钠、硼酸、苯甲酸钠、苯并三氮唑和十二烷基硫酸钠;电沉积后在200‑250℃下烘干,于铜箔表面形成锌镍合金防护层。本发明还公开一种采用防氧化处理工艺的铜箔,表面覆盖锌镍合金防护层,经250℃烘烤1小时后无氧化、无色变。通过锌镍合金电沉积形成冶金结合防护层,从根本上避免了传统化学/机械粗化导致的表面掉粉现象。提升界面结合力,合金膜与铜箔基体形成原子级结合,显著增强与其他材料的附着力。单次工艺同步实现导电层强化与防氧化保护,取代传统分步处理的粗化+防氧化工艺。
技术关键词
防氧化处理工艺 铜箔表面 锌镍合金 十二烷基硫酸钠 苯甲酸钠 硫酸镍 磺酸钠 防护层 芯片基板 专用电解液 防氧化工艺 恒温搅拌罐 甲基 去离子水 牵引机构 结合力
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