摘要
本申请实施例公开了一种气体传感器及电子设备,所述气体传感器包括基底、热源部件和声波传感部件;所述热源部件和所述声波传感部件中的至少一个设于所述基底上;所述热源部件包括加热部,所述加热部的周围形成热声腔;所述声波传感部件具有感应腔,所述感应腔与所述热声腔连通。以此,本发明实施例的气体传感器通过热源部件和声波传感部件的协同工作,能够利用热声效应实现对气体成分和浓度的准确检测。与传统的气体传感器相比,具有灵敏度高、响应速度快、结构简单、体积小等优点。同时,采用微加工技术制作,便于集成到各种微型设备中,具有广阔的应用前景。
技术关键词
气体传感器
热源
声波
声腔
基底
隔热层
壳体
ASIC芯片
衬底
透气层
通孔
热声效应
电子设备
加热
涂层
麦克风
缝隙
热板
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