一种基于数字孪生的洁净室智能运维系统及方法

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一种基于数字孪生的洁净室智能运维系统及方法
申请号:CN202510913980
申请日期:2025-07-03
公开号:CN120430080B
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于数字孪生的洁净室智能运维系统及方法,涉及智能运维技术领域,包括通过布置传感器,获取洁净室状态数据,同时通过外部数据源获取洁净室设备功率数据,并在边缘节点进行预处理,生成多源时间序列数据集;通过集成长短期记忆网络、自回归积分滑动平均模型和图神经网络构建多尺度预测模型,基于多源时间序列数据集,生成多尺度序列数据集;通过量子计算平台对洁净室内物理场耦合进行仿真模拟,生成洁净室数字孪生仿真模型;将洁净室数字孪生仿真模型加载至云端分析平台,利用梯度下降法,优化洁净室运行状态,生成优化运维方案。本发明通过量子计算平台对洁净室内物理场耦合进行仿真模拟,大幅提升了仿真模型的真实性和实时性。
技术关键词
污染物浓度分布图 数字孪生 洁净室设备 智能运维方法 量子蒙特卡洛算法 仿真模型 三维模型 序列 生成多尺度 智能运维系统 长短期记忆网络 梯度下降法 空气过滤器 扩散算法 数据 室内空间 温湿度调节设备
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