一种坏点区域检测方法、设备及程序产品

本申请实施例提供了一种坏点区域检测方法、设备及程序产品，该方法包括：通过坏点预测模型，对工艺参数不同的多个全局版图样本的晶圆形貌进行预测，基于多个全局版图样本对应的预测形貌数据，确定预测坏点区域，对预测坏点区域进行坏点验证，并基于坏点验证的结果，从预测坏点区域中选择坏点区域样本，基于坏点区域样本的实际形貌数据和工艺参数训练坏点预测模型，通过训练后的坏点预测模型，针对目标晶圆的多个局部区域，分别预测每个局部区域的实际形貌数据对应的预测工艺参数以及全局版图在该预测工艺参数下的晶圆形貌，基于每个局部区域对应的晶圆形貌，确定坏点区域，从而有效捕捉不同局部区域之间存在的微小工艺差异，检测精度更高。