一种缺陷检测方法、电子设备、存储介质及程序产品

本申请实施例提供了一种缺陷检测方法、电子设备、存储介质及程序产品，缺陷检测方法包括：获取目标晶圆的一个或多个局部区域的实际形貌数据和目标晶圆的全局版图，基于晶圆形貌与工艺参数之间的映射关系，针对每个局部区域，确定该局部区域的实际形貌数据对应的预测工艺参数，基于晶圆形貌与工艺参数之间的映射关系，针对每个局部区域，对全局版图在该局部区域的预测工艺参数下的晶圆形貌进行预测，得到晶圆形貌预测数据，基于每个局部区域对应预测的晶圆形貌预测数据，确定目标晶圆的坏点区域，从所有坏点区域中，确定待检测区域，利用缺陷扫描设备，扫描目标晶圆的待检测区域，得到缺陷检测结果，以有效提升缺陷检测的效率和精度。