晶圆翻转检测装置

本申请公开一种晶圆翻转检测装置，包括抓取机构、翻转机构和检测机构。抓取机构包括两个机械臂。翻转机构包括翻转平台和翻转电机。翻转平台固定连接于翻转电机的输出轴，翻转电机的输出轴沿第一方向延伸。检测机构包括相机、承载组件、第一光源组件、第二光源组件和移动组件；检测机构在第二方向上位于翻转机构一侧；承载组件包括安装板和多个承载块；安装板设有通孔，多个承载块在通孔的周向上间隔设置；承载块位于伸出位置时，承载块至通孔中心的最小距离小于待测晶圆的半径；当有承载块位于缩进位置时，至少有三个承载块位于伸出位置；移动组件与安装板相连。该晶圆翻转检测装置能实现无遮挡的检测，能提高检测效率且能避免成本过高。