一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置

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一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置
申请号:CN202510916421
申请日期:2025-07-03
公开号:CN120742064A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明涉及电子测控技术领域,并公开了一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,包括基座;所述基座的内部设有可用于放置芯片的载物台,所述基座顶端固定连接有探针检测单元,其中,所述载物台包括安装座,所述安装座通过开设在其外表面的导向槽滑动连接有移动架,且该移动架顶部固定连接有放置座,所述安装座和所述放置座的相邻面分别固定连接有磁性件。该磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置能够有效地解决现有技术中,移动机构内电机运转及导轨滑动所产生的微小震动会传递至载物台,进而导致探针与芯片焊盘的接触位置产生波动,会导致接触电阻不稳定,从而影响芯片检测结果的精度与可靠性的问题。
技术关键词
探针测试平台 无接触式 集成电路 安装座 载物台 移动架 磁性件 电子测控技术 基座 磁悬浮状态 芯片 真空吸盘 活塞块 活动杆 活动板 显微镜 调节件 斜面设计
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