摘要
本发明涉及电子测控技术领域,并公开了一种磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置,包括基座;所述基座的内部设有可用于放置芯片的载物台,所述基座顶端固定连接有探针检测单元,其中,所述载物台包括安装座,所述安装座通过开设在其外表面的导向槽滑动连接有移动架,且该移动架顶部固定连接有放置座,所述安装座和所述放置座的相邻面分别固定连接有磁性件。该磁悬浮无接触式集成电路IC探针测试平台装置能够有效地解决现有技术中,移动机构内电机运转及导轨滑动所产生的微小震动会传递至载物台,进而导致探针与芯片焊盘的接触位置产生波动,会导致接触电阻不稳定,从而影响芯片检测结果的精度与可靠性的问题。
技术关键词
探针测试平台
无接触式
集成电路
安装座
载物台
移动架
磁性件
电子测控技术
基座
磁悬浮状态
芯片
真空吸盘
活塞块
活动杆
活动板
显微镜
调节件
斜面设计