摘要
本发明提供一种基于公差数字孪生的PSF仿真系统和方法,以衍射理论为基础,构建基于惠更斯‑菲涅尔原理的全系统光学传递模型,避免传统几何光线追迹对高阶像差与衍射项的简化处理;随后引入系统误差参数作为数字孪生建模变量,使得仿真模型与实际光学系统参数一一对应,且具有表征误差范围的能力,克服了现有方法中PSF模型脱离光学系统真实结构、无法覆盖系统真实误差来源的局限,可实现对特定光学系统的高保真PSF建模,并可应用于高精度成像仿真与调试验证中。
技术关键词
模拟光学系统
系统误差
误差参数
仿真方法
公差
仿真系统
光学传递模型
样本
光学系统参数
组合模块
数字孪生建模
采样模块
光学元件
点扩散函数
覆盖系统
误差来源