一种芯片光刻胶剥离液及其制备方法与用途

本发明涉及一种芯片光刻胶剥离液及其制备方法与用途，其中芯片光刻胶剥离液，按照重量份计算包括如下组分：有机磺酸15‑50份；非极性有机溶剂20‑60份；极性有机溶剂20‑60份；功能剂3‑15份。本发明采用功能剂12‑羟基‑十二烷酸(4‑乙烯基苯基)甲酯和2‑(双(吡啶‑2‑基甲基)氨基)‑2‑(羟甲基)丙烷‑1,3‑二醇协同，提高金属缓蚀能力。