一种跨工序缺陷根因追溯方法及系统

本发明涉及缺陷检测技术领域，特别涉及一种跨工序缺陷根因追溯方法及系统。本发明通过整合工艺参数、设备状态及质量检测信息，形成了涵盖多维度的数据特征矩阵，使得对于每个工序的性能评估更为全面，通过构建工序关系图，能够清晰描绘各工序间的交互作用和影响路径，同时工序衰减因子的引入为量化工序间的关系提供了基础数据支持，通过分析工序关系图，能够精准识别缺陷的最短传播路径和传播概率，结合知识图谱的构建，使得跨工序缺陷的根因追溯变得系统化，知识图谱不仅能够有效整合和展示数据，还便于快速定位问题，利用自适应关联分析技术，使得在面对新数据时，系统能够智能调整分析模型和路径，持续优化缺陷检测与追溯过程。