一种超构透镜版图设计文件数据压缩方法、系统、设备及介质

本发明属于微纳光子学技术领域，并公开了一种超构透镜版图设计文件数据压缩方法、系统、设备及介质，包括：获取用于产生超构透镜版图设计文件的单元结构参数；根据超构透镜的设计要求，将超构透镜的口径划分为多个不同半径的圆环区域；基于所述单元结构参数在不同半径的圆环区域放置单元结构；将不同半径下排布的单元结构进行组合，完成超构透镜的绘制。本发明提出的数据压缩算法能够指数级的降低版图设计文件大小，同时压缩后的版图文件可被直接用于掩膜版的加工。