一种晶圆搬运用超材料构型气驱动软体机器人及控制方法

本发明本公开了一种晶圆搬运用超材料构型气驱动软体机器人及控制方法。该软体机器人包括：软体触手单元、夹具、调压阀、电磁阀、控制器和气源；软体触手单元的一端固定在所述夹具上，所述气源通过气管与所述软体触手单元的进气端连接，所述调压阀和电磁阀均设置在所述气管上，所述控制器分别与所述调压阀和电磁阀控制连接。本发明在抓取晶圆时，它能够像柔软的手指一样，轻柔地贴合晶圆表面，均匀施力，无论晶圆表面存在何种微小的不规则形状，都能完美贴合，避免了因局部受力过大而产生的划痕、损坏，同时还具备出色的形状适应性。