一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统

本发明公开了一种用于半导体制造中高架穿梭车的路径规划系统，具体涉及路径规划领域，包括设备坐标编码模块、数据采集模块、时空网格构建模块、多车任务优先级排序模块、动态引力场路径建模模块以及路径算法优化模块；数据采集模块：通过所述环境感知终端实时采集目标数据，为路径规划提供输入信息；动态引力场路径建模模块：通过所述路径算法规划终端构建引力场势能函数和路径约束条件，定义路径规划的优化目标与物理限制；本发明通过在洁净室三维空间构建动态与静态属性的时空网格模型，并建立动态引力场势能函数引导路径搜索，提升了路径规划能力，达到了将晶圆平均滞留时间减少、路径规划周期缩短的高效调度效果。