摘要
本发明涉及芯片加工技术领域,具体为一种基于高精度固晶的MiniLED芯片贴装方法,包括以下步骤,S1,利用固定部件对固晶头进行固定,动态压力控制固晶头,固晶头内置压力传感器与闭环反馈系统,贴装压力按芯片尺寸动态调整(10‑50mN),避免芯片破裂或虚焊,S2,预压合与激光辅助固化,贴装后对芯片施加预压合(时间<10ms)。本发明中,气体进入充气袋中,再通过设置的第二凸轮带动第二从动杆做前后往复运动,使得第一限位板带动堵塞做前后往复运动,使得充气袋不会过于膨胀,可以有效的对固晶头的夹持进行缓冲,也可以避免固晶头夹持时,出现位置的偏移,不会造成固晶头表面出现印痕,不会影响产品的良率。
技术关键词
芯片贴装方法
动态压力控制
容纳盒
闭环反馈系统
双酰基氧化膦
氮化硼纳米片
夹持块
防静电涂料
改性环氧树脂
凸轮
金刚石微粉
压力传感器
往复运动
滑杆
导热填料
激光
支撑台
光引发剂
齿轮