一种晶圆传送机械臂壳体加工方法

本发明涉及工业机器人技术领域，具体为一种晶圆传送机械臂壳体加工方法，包括以下步骤：步骤一，对铝合金铸件实施梯度热处理，包含200℃±10℃保温2h、430℃±5℃保温1h、液氮深冷处理30min的三阶段处理；步骤二，在多频共振消应力装置中进行正交振动时效处理，主振动频率80—120Hz，加速度0.5—1.2g；步骤三，在五轴联动加工中心实施多工序复合加工，主轴转速≥25000rpm，配备HSK‑E50刀柄系统；本发明通过热‑机‑电多场协同控制、动态反馈优化及精密检测技术，解决了高精度壳体加工中的应力变形、表面完整性控制及尺寸稳定性难题，满足机器人机械手对轻量化、高刚性及长寿命的严苛要求。