基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法

本发明公开了基于掩膜的晶圆缺陷分类系统及方法，涉及晶圆缺陷分类技术领域，将每个缺陷区域的像素赋予对应的类别序号后形成标签图像，通过添加1x1卷积层将四通道输入图像转换为三通道特征图，将标签图像与三通道特征图输入图像语义分割模型进行训练，当有缺陷的晶圆图像输入训练完成的图像语义分割模型后，图像语义分割模型进行推理，并输出晶圆的缺陷定位与分类结果，根据缺陷定位与分类结果，对晶圆进行缺陷评估并生成缺陷报告。该分类系统将晶圆图像与缺陷掩膜在通道方向拼接，所有缺陷区域通过一次分割推理就可以全部实现分类，不仅优化了图像分割精度，还提高了处理效率，显著提升了晶圆缺陷分类系统的性能和适用性。