摘要
本发明提供一种集成电路芯片的无源散热器件,包括依次堆叠设置的导热层、热电转换层和PN结阵列层;所述导热层的第一表面用于连接待散热芯片,所述导热层用于将所述待散热芯片的热量传导至所述热电转换层;所述PN结阵列层,包括多个PN结结构,每个所述PN结结构的阳极分别连接至所述热电转换层,每个所述PN结结构的阴极用于接地;所述热电转换层,用于将所述热量转换为电能,并传输至所述PN结阵列层以导通所述PN结结构。本方案为无源器件,不依靠外部供能即可实现高效散热,且能够通过热、电双维度同时进行散热,散热效果优于现有技术;本方案的散热器件还和半导体现有工艺技术相兼容,易于实现高效的芯片级散热。
技术关键词
PN结结构
集成电路芯片
热电转换层
散热器件
散热芯片
阴极层
N型热电材料
阵列
导热
磁控溅射工艺
氮化镓层
隔离结构
阳极
电压
碳化硅