一种光学元件面形检测方法及系统、设备

本发明公开了一种光学元件面形检测方法及系统、设备，涉及光学检测技术领域，用于解决现有面形检测方法存在波前退化导致仪器传递函数衰减而影响面形检测的问题。本发明将被检测元件的被检测面光场分解为多个微元，获得被检测面光场的微元通过干涉检测装置后的理想成像位置，并建立被检测面光场的微元通过干涉检测装置后传播至成像面的波前退化模型，并根据波前退化模型建立描述成像面的像元接收的光场与被检测面光场的所述多个微元通过干涉检测装置后的未退化波前的关系的表达式，进而根据第一面形结果和表达式，求解未退化波前，根据所述多个微元的未退化波前获得被检测面的第二面形结果，本发明能够更准确地表征被检测元件的面形信息。