射频电源扫频方法、装置、电子设备及存储介质

本申请属于射频电源控制的技术领域，公开了一种射频电源扫频方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取射频电源的前行功率和反射功率，结合目标设置功率计算公式，计算得到目标设置功率，调节前行功率，使调节后的前行功率趋于目标设置功率，当调节后的前行功率与目标设置功率的差值的绝对值小于误差阈值，且对应的实时反射系数大于最大反射阈值时，进行扫频，以获取最优运行频率，并将最优运行频率及对应的目标设置功率作为最优运行参数，控制射频电源运行；通过将前行功率调节至基于目标设置功率计算公式计算得到的目标设置功率附近后，若反射系数大于最大反射阈值，启动扫频，以获取最优运行频率，提高了射频电源的运行效率。