一种钛合金材料加工用耐磨涂层及其加工工艺

本申请涉及耐磨涂层加工技术领域，具体涉及一种钛合金材料加工用耐磨涂层及其加工工艺，该工艺包括：对加工钛合金的工具基体进行预处理，利用等离子体增强化学气相沉积技术对预处理后的工具基体进行涂层沉积；实时采集所述涂层沉积过程中的等离子体鞘层电压、射频电流、沉积室压力、基体温度；通过构建优化算法中的适应度函数，利用优化算法获取涂层沉积过程中各种气体成分在不同涂层厚度时的最优流量，所述适应度函数的构建包括：确定涂层沉积的成分梯度损失项与过渡平滑度损失项；涂层沉积达到设定厚度后进行退火处理，然后冷却至室温。从而提高了加工的耐磨涂层的耐磨性能。