基于湿度传感器的微系统模块在线气密性检漏装置及方法

本发明涉及微系统模块气密性检测技术领域，具体而言，涉及基于湿度传感器的微系统模块在线气密性检漏装置及方法，包括：微系统模块，嵌入集成在所述微系统模块封装内部的湿度传感器，与所述湿度传感器连接的检测单元，用于获取所述湿度传感器监测到的所述微系统模块封装内部的湿度信号，控制器与所述检测单元连接，用于基于所述湿度信号及预设的湿度变化与泄漏速率的定量关系，判断所述微系统模块的气密性状态；以及输出单元，所述输出单元与所述控制器连接，用于输出所述气密性状态。本发明实现了微系统模块气密性的原位、在线和长期无损监测，且能够适应不同类型的微系统模块集成需求。