摘要
本发明涉及一种基于铁电复合材料的无源射频触觉传感器及其制备方法,属于传感器技术领域。包括:多功能传感单元,用于非接触介电感知和接触式压力感知;其中,多功能传感单元包括第一基底层、第一电极层、弹性介质层和第二电极层;第一电极层设置于第一基底层与弹性介质层之间;传感信号传输单元,包括第二基底层和通信线圈;通信线圈分别与第一电极层、第二电极层连接;通信线圈位于多功能传感单元一侧;其中第二电极层设置于弹性介质层与第二基底层之间;弹性介质层至少一面设置为多孔微结构。本发明不仅具备高精度和高灵敏度的压力感知能力,还展现出优异的线性响应特性,有效避免了信号饱和现象。
技术关键词
铁电复合材料
触觉传感器
基底层
柔性聚合物
陶瓷纳米线
电极
多孔微结构
异质结构
信号传输单元
无源射频
溶液
待测物体
线圈
湿法刻蚀工艺
聚酰亚胺薄膜
银纳米颗粒
金字塔结构