一种高精度多轴敏感微型加速度传感器芯片及其制备方法

本发明公开了一种高精度多轴敏感微型加速度传感器芯片及其制备方法，属于电加速度传感器技术领域。本发明公开的多轴d33模式微型压电加速度传感器芯片，通过在底座接触区和帽形质量块接触区之间设置SiO2层和铝层，通过金属键合实现二氧化硅‑金属键合工艺，将纵向压电模式应用到微加速度计中，解决了现有的速度传感器芯片难以满足d33压电传感器应用需求的技术问题。