大尺寸掩膜版搬运行走机器人

本发明涉及掩膜版运输技术领域，公开了大尺寸掩膜版搬运行走机器人，包括机械臂以及设置在机械臂活动端上的掩膜版夹爪，所述Y轴滑动组件固定设置在底座板上，所述底座板上设置有X轴驱动组件，所述X轴驱动组件与X轴导轨组件之间传动连接且用以驱动底座板沿着所述X轴导轨组件定向滑动；所述掩膜版夹爪包括视觉识别系统与伺服夹具，所述视觉识别系统用以识别夹持位置，所述伺服夹爪用以兼容不同厚度掩膜版的抓取，所述底座板上设置有控制柜。本发明，通过6轴机械臂，用于高精度姿态调整与掩膜版抓取；X与Y轴移动平台，用于支持大范围平面移动；智能夹持系统，支持不同尺寸掩膜版的抓取，兼容不同厚度/尺寸掩膜版。