摘要
本申请涉及激光加工技术领域,公开了一种光斑补偿方法、装置、设备、存储介质及计算机程序产品,包括:获取单焦点的像差函数;基于液晶空间光调制器的自适应光学调控对所述单焦点的像差函数中的多项式进行展开与预补偿,获取所述单焦点像差的相位表达式;除去所述单焦点像差的相位表达式内的离焦相位获取单焦点的补偿相位表达式;根据所述单焦点的补偿相位表达式生成相位补偿后的Z轴相位全息图,并将所述Z轴相位全息图加载到SLM上获取补偿后的Z轴光斑。通过补偿相位表达式获取补偿后的Z轴光斑,改善了光斑的散射现象;结合了GSW算法,同时对X‑Y平面上光斑的聚焦状态及光斑形态进行优化,提高了加工效率。
技术关键词
光斑补偿方法
单焦点
相位全息图
表达式
液晶空间光调制器
三维全息图
计算机程序产品
多项式
补偿设备
处理器
平面光
物镜
阵列
镜片
可读存储介质
模块
存储器
算法