一种密封转移结构及芯片封装设备

AITNT
正文
推荐专利
一种密封转移结构及芯片封装设备
申请号:CN202510939412
申请日期:2025-07-08
公开号:CN120895510A
公开日期:2025-11-04
类型:发明专利
摘要
本发明涉及到半导体封装技术领域,公开了一种密封转移结构及芯片封装设备,密封转移结构包括基座、支架、移载组件和中转组件,通过对称布置的滑动座与移载臂,使移载结构在转移芯片载盘时具有良好的同步性与稳定性,承托槽能够有效支撑芯片载盘下侧,避免因侧向夹持造成的晃动和倾斜,提升芯片载盘在移载过程中的姿态保持能力;滑动座结构可实现移载臂的线性位移,中转组件包括转动连接于底座上的固定头,固定头在第一状态下张开以固定芯片载盘,在第二状态下,固定头闭合以放松芯片载盘,实现芯片载盘在不同工位间的交接,在不改变芯片载盘相对定位下完成工位切换,避免每个新工位都需重新装夹定位,从根本上消除累积误差。
技术关键词
转移结构 芯片载盘 压紧套 芯片封装设备 移载臂 抽真空组件 升降驱动电机 支撑盘 控制气缸 导向筒 真空管 真空接头 控制盘 消除累积误差 升降组件 夹取臂 滑动座结构 半导体封装技术
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号