摘要
本发明涉及到半导体封装技术领域,公开了一种密封转移结构及芯片封装设备,密封转移结构包括基座、支架、移载组件和中转组件,通过对称布置的滑动座与移载臂,使移载结构在转移芯片载盘时具有良好的同步性与稳定性,承托槽能够有效支撑芯片载盘下侧,避免因侧向夹持造成的晃动和倾斜,提升芯片载盘在移载过程中的姿态保持能力;滑动座结构可实现移载臂的线性位移,中转组件包括转动连接于底座上的固定头,固定头在第一状态下张开以固定芯片载盘,在第二状态下,固定头闭合以放松芯片载盘,实现芯片载盘在不同工位间的交接,在不改变芯片载盘相对定位下完成工位切换,避免每个新工位都需重新装夹定位,从根本上消除累积误差。
技术关键词
转移结构
芯片载盘
压紧套
芯片封装设备
移载臂
抽真空组件
升降驱动电机
支撑盘
控制气缸
导向筒
真空管
真空接头
控制盘
消除累积误差
升降组件
夹取臂
滑动座结构
半导体封装技术