一种基于白光显微干涉的金属疏水表面三维形貌测量方法及系统

本发明涉及一种基于白光显微干涉的金属疏水表面三维形貌测量方法及系统，属于精密测量领域，其包括：首先测量样品，扫描样品表面，同步采集包含表面轮廓信息的白光干涉图像序列；采用双三次插值算法对采集白光干涉图组进行插值处理，构建高分辨率的干涉图像序列；随后通过快速傅里叶变换对时‑频域干涉信号进行分析，结合滤波技术有效抑制噪声干扰，精确提取干涉信号的包络曲线；进而采用最小二乘法对包络峰进行高斯拟合并定位峰值坐标，最终重构出高精度的三维表面形貌。本发明通过双三次插值算法与快速傅里叶变换法的优势互补，在保持纵向分辨率的同时显著提升横向分辨率，为金属疏水表面结构三维形貌的精确表征提供了有效的技术手段。