摘要
本申请公开了一种宏微跨尺度结构的制备方法及其形成的工件,其中,制备方法,包括:采用声波固化工艺制备第一工件;在第一工件上涂覆光刻胶;以所述光刻胶和第一工件接触面为起点,采用双光子聚合工艺对所述光刻胶进行聚合成型,形成位于所述第一工件上的第二工件,在相同方向上,第二工件的尺寸小于第一工件的尺寸。本申请利用声波直接制造可快速制造毫米至厘米级的宏观三维聚合物结构,然后采用飞秒激光双光子聚合制造微米级乃至亚微米级微观三维结构,能够实现宏微三维跨尺度结构的快速制备。
技术关键词
超声换能器
工件
机械臂
涂覆光刻胶
飞秒激光双光子
高数值孔径物镜
CCD成像系统
跨尺度结构
接触面
声波
预聚物
亚微米级
热固性树脂
自由基
光刻胶层
单层
三维结构
凹凸不平
增韧剂