摘要
本发明涉及一种高亮度红光Mini LED芯片及其制备方法,由下自上依次包括透明衬底、键合层、P‑GaP光窗口层、P‑AlInP限制层、MQW多量子阱层、N‑AIInP限制层、N‑AlGaInP电流扩展层、N‑GaAs欧姆层、P一次电极、N一次电极、DBR钝化层、P电极焊盘、N电极焊盘。本发明通过在GaP窗口层粗化时制作掩膜层,并采用多段粗化,在最后一次粗化前,粗化掩膜层以外的区域,最后一次粗化时,去除光刻胶掩膜,进行整面粗化,形成具有表面图形的粗化结构,增大了发光面积,从而提升芯片亮度。
技术关键词
电流扩展层
N电极焊盘
量子阱层
掩膜
GaAs衬底
CMP抛光
导电孔
外延片
阻挡层
蓝宝石衬底
光刻胶
光刻工艺
刻蚀工艺
芯片