一种高亮度红光Mini LED芯片及其制备方法

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一种高亮度红光Mini LED芯片及其制备方法
申请号:CN202510944126
申请日期:2025-07-09
公开号:CN120981050A
公开日期:2025-11-18
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种高亮度红光Mini LED芯片及其制备方法,由下自上依次包括透明衬底、键合层、P‑GaP光窗口层、P‑AlInP限制层、MQW多量子阱层、N‑AIInP限制层、N‑AlGaInP电流扩展层、N‑GaAs欧姆层、P一次电极、N一次电极、DBR钝化层、P电极焊盘、N电极焊盘。本发明通过在GaP窗口层粗化时制作掩膜层,并采用多段粗化,在最后一次粗化前,粗化掩膜层以外的区域,最后一次粗化时,去除光刻胶掩膜,进行整面粗化,形成具有表面图形的粗化结构,增大了发光面积,从而提升芯片亮度。
技术关键词
电流扩展层 N电极焊盘 量子阱层 掩膜 GaAs衬底 CMP抛光 导电孔 外延片 阻挡层 蓝宝石衬底 光刻胶 光刻工艺 刻蚀工艺 芯片
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