摘要
本发明公开了一种芯片挑拣系统及方法,用于挑拣待拣晶圆上的芯片,芯片挑拣系统包括基台、挑拣机构和检测机构,所述基台上具有用于承载所述待拣晶圆的操作位;所述挑拣机构设于所述基台上,用于挑拣芯片;所述检测机构设于所述操作位上方,并与所述挑拣机构电性连接,所述检测机构包括用以对所述操作位上的待拣晶圆进行实时扫描的视觉模块、与所述视觉模块电性连接的控制模块及与所述控制模块电性连接报警模块。本发明实现了对待拣晶圆上的芯片进行自动化挑拣以及实时检测并响应误挑异常芯片的异常情况,避免不良品流出,提升产品质量。
技术关键词
挑拣系统
挑拣机构
挑拣方法
检测机构
控制模块
图像
芯片托盘
指示灯组
机械手
异常状态
匹配误差
视觉
驱动组件
基台
显示屏
警报
支架