一种面向微流体检测的太赫兹互补传感芯片

本发明公开了一种面向微流体检测的太赫兹互补传感芯片，包括顶层聚酰亚胺薄膜和底层石英衬底层，底层石英衬底层上表面被部分蚀刻，产生的空腔与顶层聚酰亚胺薄膜、底层石英衬底层共同组成微流体通道，顶层聚酰亚胺薄膜的下表面设有顶层金属层，空腔的上表面设有底层金属层；顶层金属层由互补超构表面构成，所述互补超构表面顶层金属层上开组合槽，所述组合槽由一组“U”字形槽和四组“一”字形槽组成。本发明利用巴比涅原理构造互补结构，增强微流控芯片内部电磁场能量，实现传感灵敏度的提升。本发明还提供了一种高效溶液传感的方法，保持了较高的品质因数与优值，拓宽了太赫兹微流控芯片与太赫兹时域光谱系统相结合在生化传感方面的应用前景。