基于互补超构表面的太赫兹微流控双频传感芯片

本发明公开了一种基于互补超构表面的太赫兹微流控双频传感芯片，根据巴比涅原理设计了一种错开式的“工”字形的互补超构表面，增强微流控芯片内部电磁场能量，实现传感灵敏度的提升，结合对于金属微结构的优化，同时激发传感器的两种电磁谐振模态，从而实现双频点同时传感的功能。该双频点传感器工作在模式一时品质因子可以达到35，灵敏度接近700GHz/RIU，工作在模式二时，品质因子最高25，灵敏度最高达500 GHz/RIU。本发明在没有过度增加超构表面结构复杂性的前提下，提供了一种实现高灵敏度太赫兹双频点传感器的方法，使其在工业、医疗、通信、安检及科研等领域展现出比单频点传感器更广泛的应用潜力。