一种多尺寸晶圆混产线晶圆吸附系统及使用方法

本发明公开了一种多尺寸晶圆混产线晶圆吸附系统及使用方法，晶圆吸附系统包括多环路晶圆吸附盘，所述多环路晶圆吸附盘包括若干同心设置的吸附环，吸附环通过独立的管路与真空发生设备相连通，在吸附环的管路上的设置用于控制气路通断控制阀组；根据晶圆的尺寸使用控制阀组调整多环路晶圆吸附盘的吸附区域，对晶圆进行吸附固定；本发明采用多环路吸附盘，结合气体环路可切换，吸附力可调，达到兼容不同尺寸和不同厚度的晶圆目的，扩展了系统的兼容性；设置压力和温度检测点，实时模糊控制闭环反馈调节，使得吸附力恒压，增加了吸附的稳定性，从而对吸附力进行精确控制。