确定工艺制程的方法、装置、电子设备、介质及程序产品

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确定工艺制程的方法、装置、电子设备、介质及程序产品
申请号:CN202510951519
申请日期:2025-07-10
公开号:CN120822483A
公开日期:2025-10-21
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种确定工艺制程的方法、装置、电子设备、介质及程序产品。该方法包括:获取目标版图文件;目标版图文件包括通孔层的层号和通孔层的物理参数;或,目标版图文件包括Dummy层的层号和Dummy层的物理参数;利用目标版图文件中的目标层级结构的层号和/或目标层级结构的物理参数在预设的工艺制程参数对应关系中进行匹配操作,获得目标版图文件对应的工艺制程;其中,目标层级结构包括Dummy层,或,层号和/或物理参数在不同工艺制程中不同的通孔层。这样可以更加快速的确定出目标版图文件对应的工艺制程。
技术关键词
版图 制程 层级 参数 计算机可执行指令 物理 关系 CMOS工艺 金属互连层 通孔 计算机程序产品 处理器 晶体管 电子设备 计算机存储介质 匹配模块 存储器 芯片
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