摘要
本申请提供一种确定工艺制程的方法、装置、电子设备、介质及程序产品。该方法包括:获取目标版图文件;目标版图文件包括通孔层的层号和通孔层的物理参数;或,目标版图文件包括Dummy层的层号和Dummy层的物理参数;利用目标版图文件中的目标层级结构的层号和/或目标层级结构的物理参数在预设的工艺制程参数对应关系中进行匹配操作,获得目标版图文件对应的工艺制程;其中,目标层级结构包括Dummy层,或,层号和/或物理参数在不同工艺制程中不同的通孔层。这样可以更加快速的确定出目标版图文件对应的工艺制程。
技术关键词
版图
制程
层级
参数
计算机可执行指令
物理
关系
CMOS工艺
金属互连层
通孔
计算机程序产品
处理器
晶体管
电子设备
计算机存储介质
匹配模块
存储器
芯片