芯片制造演示平台

本申请公开了一种芯片制造演示平台，属于教育或培训模拟器领域，解决了现有技术中虚拟仿真视频教学系统难以获得更直观的感受，实验室级设备的教学方式的成本高且无法覆盖全流程的问题。本申请中，可以设置模拟实际设备的单晶炉模拟演示设备、晶圆上料模拟演示设备、光刻模拟演示设备、刻蚀模拟演示设备、薄膜沉积模拟演示设备、离子注入模拟演示设备、抛光模拟演示设备，并且上述设备通过对各工艺真机的外观模拟设计，运用光、电、雾等方式，能生动展示芯片的制造过程。本申请的芯片制造演示平台为模块化、可拆装、全流程覆盖的芯片制造工艺流程演示平台，能够实现芯片制造的全流程可视化教学。