放肩生长过程的融合控制方法、装置和电子设备

本申请公开了一种放肩生长过程的融合控制方法、装置和电子设备。该方法包括：获取图像序列数据和工艺序列数据；通过第一映射模型基于图像序列数据和工艺序列数据预测得到第一拉速响应值，第一映射模型包括预训练的残差神经网络；通过第二映射模型基于工艺序列数据预测得到第二拉速响应值，第二映射模型包括物理神经网络；通过融合控制模块根据第一拉速响应值和第二拉速响应值输出拉速控制响应值，据此控制硅单晶放肩生长过程。上述技术方案利用映射模型分别根据图像和工艺的时序数据预测拉速响应值，并结合两种拉速响应值综合确定最终用于控制放肩生长过程的拉速控制响应值，提高了对放肩生长过程进行自动化控制的可靠性。