微机电系统故障检测方法、电子设备及存储介质

本申请提供一种微机电系统故障检测方法，包括：对出现故障的微机电系统进行外观检测，得到外观检测信息。对微机电系统进行射线检测，得到射线检测信息。对微机电系统进行功能检测，得到功能检测信息。对微机电系统进行开封，对开封后的微机电系统进行检测，得到开封检测信息。根据外观检测信息、无损检测信息、功能检测信息与开封检测信息对微机电系统的故障进行判断，得到故障检测结果。这样便解决了对于出现故障的微机电系统进行故障检测时容易损坏故障件的问题。