一种生物质气溶胶片上集成捕获平台、装置及其制备方法

本发明公开了一种生物质气溶胶片上集成捕获平台、装置及其制备方法，生物质气溶胶片上集成捕获平台包括毫米级PDMS主芯片、位于PDMS主芯片内部的粒子捕获腔体，对称设置于粒子捕获腔体两侧的对向传播的第一波导结构、第二波导结构，用于分别将激光光束耦合至第一波导结构、第二波导结构的第一入光窗口、第二入光窗口；所述第一波导结构、第二波导结构为通过飞秒激光在PDMS主芯片上直写的对向传播的单模波导，所述单模波导靠近粒子捕获腔体的一端具有汇聚激光光束功能。本发明在毫米级PDMS中通过两束波导输出在空气中交汇形成稳定三维光势阱，实现了生物质气溶胶的稳定捕获及捕获平台的片上集成与系统微型化，集成度高，结构紧凑。