一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统

本发明公开了一种NCVM不导电真空镀膜工艺执行监控方法及系统，涉及真空镀膜相关领域，包括：对基材表面进行检测单元网格动态划分；通过红外热成像仪对自适应网格基材表面进行实时扫描，得到基材动态温度分布矩阵；根据镀膜厚度与温度梯度的映射关系，对基材动态温度分布矩阵进行预测，得到镀膜均匀性预测图谱；将基材动态温度分布矩阵和镀膜均匀性预测图谱进行融合处理，得到交叉验证网格；当任意一个网格验证不通过时，生成三维补偿向量；实时调控镀膜设备的工艺参数。解决现有镀膜工艺执行监控存在的对镀膜均匀性的预测不够准确，难以实时、精准调控工艺参数的技术问题，达到准确预测镀膜的均匀性，实时、精准调控工艺参数的技术效果。