一种基片上元件阻值的检测系统及检测方法

本发明涉及电阻测试技术领域，具体公开了一种基片上元件阻值的检测系统，包括阻值检测模块、标记装置、下料执行机构和智能控制模块，智能控制模块被配置为：(a)计算整板基片的合格率；(b)值偏小占有率+合格元件占有率≥返工阈值则送入可返工储存区，其余送入不可返工储存区。基片上元件阻值的检测方法，包括如下步骤：S1、探针获取元件阻值；S2、用不同颜色标记阻值异常元件；S3、对基片进行合格率和偏小值占有率计算；S4、控制下料执行机构将基片合格率≥基片合格阈值的基片送至合格区。本方案用以解决现有技术中基片高密度元件阻值检测效率低、人工分拣错误率高，而自动化的检测系统又无法根据阻值偏差方向智能决策返工或报废的问题。