一种十字环形结构的高灵敏宽频带压电振动传感芯片及其制备方法

本发明公开了一种十字环形结构的高灵敏宽频带压电振动传感芯片及其制备方法，其异质结构具有由中心向外依次设置的矩形的内质量块、中间质量环和边框，异质结构还具有内环悬臂梁和外环悬臂梁；其中，内质量块、中间质量环和边框同心设置且对应边平行，内质量块与中间质量环对应边之间通过内环悬臂梁连接，中间质量环和边框对应边之间通过外环悬臂梁连接；内质量块、中间质量环、内环悬臂梁和外环悬臂梁的下表面与硅基底之间分离；上电极层在内环悬臂梁和外环悬臂梁上表面均图案化有电极，钝化层表面设有与电极连接的电极引线。本发明减小了质量块的体积，提高了固有频率，增加了压电敏感层的利用面积，补偿了高谐振频率带来的灵敏度降低问题。