芯片缺陷识别方法及系统

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芯片缺陷识别方法及系统
申请号:CN202510960114
申请日期:2025-07-11
公开号:CN120852866A
公开日期:2025-10-28
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种芯片缺陷识别方法及系统,该方法包括:通过根据芯片封装中不同材料的材料密度差异对输入的芯片封装X射线图像进行多层次增强处理,得到材料特性优化的增强X射线图像;将增强X射线图像输入预训练的图像分割网络进行封装边界识别和旋转校正,得到芯片封装区域图像;将芯片封装区域图像输入预训练的双流特征提取网络进行缺陷形态特征和边界特征的提取与融合,得到融合多维特征图;将融合多维特征图输入预训练的缺陷评估网络进行缺陷参数计算和可靠性判定,得到缺陷识别结果。本发明通过多层次图像增强和多网络协同处理,能够准确识别芯片封装中的各种缺陷类型,显著提高缺陷检测的准确性和可靠性。
技术关键词
芯片缺陷识别方法 融合多维特征 芯片封装 图像分割网络 特征提取网络 边界特征 多层次 缺陷识别系统 多尺度特征 序列化特征 形态 校正 编码器模块 注意力 边界轮廓 多尺度卷积核 主成分分析算法 基板材料
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